一、 工业废污处理,材料处理等离子电源及等离子炬
1) 电流0-500A
2) 功率40-200KW
3) 可以转移弧,非转移弧
4) 自动控制调节点火
二、 半导体工业全氟化合物尾气处理等离子电源及等离子炬
1) 功率25kw,电流0-100A可调
2) 阴极寿命大于2000小时
3) 自动点火成功率100%
三、 等离子清洗活化系统
1) 频率40KHz-13.56MHz
2) 平板电极,链式结构,连续生产
3) 可使用的气体O2,H2,N2,和氟化物气体
处理产品有:大尺寸平板玻璃:镜片,LED,金属表面,半导体表面,高分子聚合物
四、 全自动超声波清洗机
1) 全自动碳氢超声波清洗机
2) 超声波加高压喷淋清洗机
3) 超声波真空清洗加真空干燥系统
清洗的产品有:玻璃,光学镜片,汽车零部件,压铸件,精密机械加工件
太阳能,半导体,LED,锂电池等产品.
五、 大型真空腔体平板式RF电源电极,
六、 大型真空腔体/平板式腔体---分气模块,
七、 大型真空腔体---门阀,
八、 大型真空腔体---真空器件
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